空调系统24小时全天运转并监控管理半导体工厂部分制程设备，对温湿度变化极为敏感，如黄光区Stepper光学机台，些微的温、湿度变化均会使设备的准度偏差，另外芯片等产品也必须置放在定温定湿的环境下，故空调系统必须24小时监控管理之。
工业厂房，指直接用于生产或为生产配套的各种房屋，包括主要车间、辅助用房及附属设施用房。凡工业、交通运输、商业、建筑业以及科研、学校等单位中的厂房都应包括在内。工业厂房除了用于生产的车间，还包括其附属建筑物。
标准厂房设计规范
一、工业厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术先进、经济合理、适用、确保质量，符合节约能源和环境保护的要求。
二、本规范适用于新建和改建、扩建的工业厂房设计，但不适用于以为控制对象的生物洁净室。本规范有关防火和疏散、消防设施章节的规定，不适用于建筑高度超过24米的高层工业厂房和地下工业厂房的设计。
三、条在利用原有建筑进行洁净技术改造时，工业厂房设计必须根据生产工艺要求，因地制宜、区别对待，充分利用已有的技术设施。
四、工业厂房设计应为施工安装、维护管理、测试和运行创造必要的条件。
五、工业厂房设计除应按本规范执行外，尚应符合现行的国家标准、规范的有关要求。
六、工业厂房是由独立一栋建筑物（车间），和独立一栋建筑物（宿舍），两栋建筑物之间距离标准是10米，近不得少于5米，以便消验收合格。建筑物的占地面积与建筑面积的比例是1：3。
在一个建设场地内，确定各厂房设计方案时，宜使构配件的类型统一。
在技术经济合理的基础上，厂房的体形应力求简单，避免设置纵横跨和多跨厂房中的高度差。
在编制厂房建筑构配件标准设计图集时，应使用途相同的构配件具有限度的互换性。
厂房建筑设计除应符合本标准的有关规定外，还应符合现行有关国家标准的规定。