净室，又称无尘室、洁净室或清净室，是指一个具有低污染水平的环境，这里所指的污染来源有灰尘，空气传播的微生物，悬浮颗粒，和化学挥发性气体。更准确地讲，一个净室具有一个受控的污染级别，污染级别可用每立方米的颗粒数，或者用颗粒大小来厘定的。低级别的净室通常是没有经过的（如没有受控的微生物），更在意的是净室中的灰尘。
温湿度要求比一般空调高一般空调要求在18°C~26 °C之间，相对湿度则在40%~65%之间；净室空调必须控制在22°C~24 °C之间，相对湿度则在45%~55%。
恒温恒湿控制由于半导体制程对温湿度变化的大小极为敏感，故在净室大部分区域必须控制在± 1°C及± 3%之内。
所需的外气较多由于半导体工厂中，制程系统需使用大量的化学品和毒气，这些化学品和毒气所产生的挥发气体和废气必须予以全数排除，故排气量相当大，为维持净室压力比外面的大气压力大，此时所补充的空气量亦随之增加。
标准厂房设计规范
一、工业厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术先进、经济合理、适用、确保质量，符合节约能源和环境保护的要求。
二、本规范适用于新建和改建、扩建的工业厂房设计，但不适用于以为控制对象的生物洁净室。本规范有关防火和疏散、消防设施章节的规定，不适用于建筑高度超过24米的高层工业厂房和地下工业厂房的设计。
三、条在利用原有建筑进行洁净技术改造时，工业厂房设计必须根据生产工艺要求，因地制宜、区别对待，充分利用已有的技术设施。
四、工业厂房设计应为施工安装、维护管理、测试和运行创造必要的条件。
五、工业厂房设计除应按本规范执行外，尚应符合现行的国家标准、规范的有关要求。
六、工业厂房是由独立一栋建筑物（车间），和独立一栋建筑物（宿舍），两栋建筑物之间距离标准是10米，近不得少于5米，以便消验收合格。建筑物的占地面积与建筑面积的比例是1：3。