真空探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

该探针台的承载台为φ60不锈钢台面，台面可升温到400℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测

真空腔体

型号

KT-Z1604T-RL高低温型 KT-1604TZ高温型

加热台温度

高温型 ：400℃ 高低温型：-190~400℃

腔体材质

304不锈钢

上盖开启

铰链侧开

加热台材质

304不锈钢

内腔体尺寸

φ160x90mm

观察窗尺寸

Φ70mm

加热台尺寸

φ60mm

观察窗热台间距

75mm

加热台温控误差

±0.5℃

真空度

机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa

允许正压

≤0.1MPa

真空抽气口

KF25真空法兰

气体进气口

3mm-6mm卡套接头

电信号接头

SMA转BNC X 4

电学性能

绝缘电阻 ≥4000MΩ介质耐压 ≤500V 电流噪声 ≤10pA/100fA

探针数量

4探针

探针材质

钨针

探针尖

10μm

探针移动平台

X轴移动行程

30mm±15mm

X轴控制精度

≤0.01mm

Y轴移动行程

13mm±12.5mm

Y轴控制精度

≤0.01mm

Z轴移动行程

13mm±12.5mm

Z轴控制精度

≤0.01mm

电子显微镜

显微镜类别

物镜+目镜

物镜倍数

0.7-4.5倍

工作间距

90mm

相机

sony高清

像素

1920※1080像素

图像接口

VGA

LED可调光源

有

显示屏

13寸

放大倍数

19-256倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，小可分辨0.08mm