高低温真空探针台KT-Z160T-RL

高低温探针台系统达到≤10Pa即可进行低温测试而无凝露或结霜。对于选用了入门级配置的用户，可选用双极旋片式机械泵即可达到目标真空度，从而减少设备的配置预算。对于真空度有更高要求的用户，可选用分子泵组对系统进行抽真空。低温探针台系统可达10-3Pa。也可选配更高真空度的泵组，以满足测试要求。

为了减少泵组的振动，我们还专门为用户设计了隔振器，很大程度地衰减泵组工作时产生的振动，以确保系统的稳定，减少探针的移动。

高低温真空探针台KT-Z160T-RL参数

真空腔体

腔体材质

304不锈钢

上盖开启

铰链侧开

加热台材质

304不锈钢

内腔体尺寸

φ160x90mm

观察窗尺寸

Φ70mm

加热台尺寸

φ60mm

观察窗热台间距

75mm

加热台温度

﹣190--400℃

加热台温控误差

±1℃

真空度

机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa

允许正压

≤0.1MPa

真空抽气口

KF25真空法兰

气体进气口

3mm-6mm卡套接头

电信号接头

SMA转BNC X 4

电学性能

绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V

探针数量

4探针

探针材质

钨针

探针尖

10μm

探针移动平台

X轴移动行程

30mm ±15mm

X轴控制精度

≤0.01mm

Y轴移动行程

13mm ±12.5mm

Y轴控制精度

≤0.01mm

Z轴移动行程

13mm ±12.5mm

Z轴控制精度

≤0.01mm

电子显微镜

显微镜类别

物镜

物镜倍数

0.7-4.5倍

工作间距

90mm

相机

sony 高清

像素

1920※1080像素

图像接口

VGA

LED可调光源

有

显示屏

8寸

放大倍数

19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，小可分辨0.08mm